半導体

半導体製造装置部品および表面エンジニアリングソリューション

Leedo 半導体製造装置、真空システム、および高い清浄度、安定性、信頼性が求められる高度なプロセスツール向けに、精密なアルミニウム製造および表面処理ソリューションを提供しています。

真空チャンバーの構成部品
真空チャンバー部品、チャンバー蓋、支持構造物、および精密アルミニウム組立品。
プロセス機器コンポーネント
エッチング装置部品、成膜装置部品、プロセスモジュール部品、および精密機械組立品。
ウェハハンドリングおよび位置決めシステム
ウェハ搬送部品、位置決めステージ部品、精密治具、および自動化部品。
半導体支援装置
真空システム部品、ガス供給システム部品、検査装置部品、およびクリーンルーム装置部品。

半導体製造装置向け表面エンジニアリングソリューション

Leedo 清浄度、耐腐食性、および長期的なプロセス安定性が求められる半導体製造装置用途向けに設計された表面処理ソリューションを提供しています。

半導体製造装置向け表面エンジニアリングソリューション
陽極酸化処理
耐腐食性と表面保護性能を向上させます。
硬質アルマイト処理
耐摩耗性、電気絶縁性、および耐用年数を向上させます。
低ガス性陽極酸化処理
真空および超高真空（UHV）環境向けに設計されています。
無電解ニッケルめっき
優れた耐薬品性と寸法安定性を備えています。
マイクロアーク酸化（MAO）
セラミックのような硬度と卓越した耐摩耗性を実現します。
超純水洗浄およびクリーンルーム用パッケージ
半導体の清浄度要件に対応します。

半導体品質管理およびプロセス制御

Leedo 、国際的に認められた品質管理基準に従い、高精度かつ一貫したプロセスによる半導体製造装置の製造を支援しています。

品質管理
• ISO 9001認証取得メーカー
・製造トレーサビリティ
・プロセス安定性管理
・重要次元管理
・サプライヤー品質保証
品質検証
・寸法検査
・表面粗さ検査
・塗膜厚検査
・表面清浄度検査
・組立検証
半導体業界における清浄度、精度、信頼性に関する要件への準拠を確保する。

主な用途

Leedo 半導体製造装置、真空システム、および高い清浄度、安定性、信頼性が求められる高度なプロセスツール向けに、精密なアルミニウム製造および表面処理ソリューションを提供しています。

主な用途
真空チャンバーおよびプロセスモジュールの構成部品
真空チャンバー部品、チャンバーライナー、ガス分配プレート、遮蔽部品、およびプロセスモジュールアセンブリ。
ウェハハンドリングおよび自動化システム
ウェハ搬送部品、ロボットアーム部品、位置決めステージ、および自動化装置部品。
熱管理システム
ヒータープレート、冷却プレート、温度制御モジュール、および高平面度精密部品。
検査・包装機器の構成部品
光学検査装置部品、半導体パッケージング治具、精密支持構造物、および装置組立品。