半導体

半導体製造装置部品の加工・表面技術の一貫対応

Leedoは、半導体製造装置、真空装置、先端プロセス装置向けに、高精度アルミニウム合金加工と表面技術を提供し、高清浄度、高安定性、高信頼性の要求に対応します。

真空チャンバー・構造部品
真空チャンバー部品、チャンバー蓋、支持構造部品、高精度アルミニウム合金機構部品。
プロセス装置部品
エッチング装置部品、薄膜成膜装置部品、プロセスモジュール部品、装置機構部品。
ウェハ搬送・位置決めシステム
ウェハ搬送機構、位置決めステージ部品、精密治具、自動化装置部品。
半導体周辺装置
真空装置部品、ガス供給システム部品、検査装置部品、クリーンルーム設備部品。

半導体製造装置向け表面技術

Leedoは、半導体製造装置が求める清浄度、耐食性、長期安定性に対応する表面処理技術を提供しています。

半導体製造装置向け表面技術
アルマイト処理
耐食性と表面保護性能を向上させます。
硬質アルマイト処理（Hard Anodizing）
耐摩耗性、電気絶縁性、および耐用年数を向上させます。
低ガス放出アルマイト処理（Low Outgassing Anodizing）
真空・超高真空（UHV）装置環境に適しています。
無電解ニッケルめっき
優れた耐薬品性と寸法安定性を備えています。
マイクロアーク酸化（MAO）
高硬度のセラミック化表面と優れた耐摩耗性を付与します。
超純水洗浄・クリーンルーム包装
半導体産業の清浄度要件に対応します。

半導体産業の品質管理・クリーンプロセス管理

Leedoは国際的な品質管理規格に沿って、半導体製造装置・ハイテク産業向けに、高清浄度・高精度の製造サービスを提供しています。

品質管理
• ISO 9001品質マネジメントシステム認証
• 製造履歴のトレーサビリティ管理
• 工程安定性管理
• 重要寸法管理
• サプライヤー品質管理
品質検証項目
• 寸法測定
• 表面粗さ検査
• 膜厚検査
• 表面清浄度検査
• 組立検証
半導体製造装置産業が求める清浄度、精度、信頼性への適合を確保します。

主な適用分野

Leedoは、半導体製造装置、真空装置、先端プロセス装置向けに、高精度アルミニウム合金加工と表面技術を提供し、高清浄度、高安定性、高信頼性の要求に対応します。

主な適用分野
真空チャンバー・プロセスモジュール部品
真空チャンバー部品、チャンバーライナー、ガス分配板、シールド部品、プロセスモジュール構造部品。
ウェハ搬送・自動化システム
ウェハ搬送機構、ロボットアーム部品、位置決めステージ、自動化装置部品。
温度制御・熱管理システム
加熱ステージ、冷却プレート、温度制御モジュール、高平面度精密部品。
検査・半導体パッケージング装置部品
光学検査装置部品、パッケージング治具、精密支持構造、装置機構部品。