Halbleiter

Komponenten für Halbleiteranlagen und Oberflächentechniklösungen

Leedo bietet Präzisionslösungen für die Aluminiumfertigung und Oberflächentechnik für Halbleiteranlagen, Vakuumsysteme und fortschrittliche Prozessanlagen, die hohe Reinheit, Stabilität und Zuverlässigkeit erfordern.

Komponenten der Vakuumkammer
Vakuumkammerbauteile, Kammerdeckel, Stützkonstruktionen und Präzisionsbaugruppen aus Aluminium.
Komponenten von Prozessanlagen
Komponenten für Ätzanlagen, Komponenten für Beschichtungsanlagen, Teile für Prozessmodule und Präzisionsbaugruppen.
Wafer-Handhabungs- und Positionierungssysteme
Komponenten für die Waferhandhabung, Positionierbühnenteile, Präzisionsvorrichtungen und Automatisierungskomponenten.
Halbleiter-Unterstützungsausrüstung
Komponenten von Vakuumsystemen, Teile von Gasversorgungssystemen, Komponenten von Inspektionsgeräten und Teile von Reinraumgeräten.

Oberflächentechniklösungen für Halbleiteranlagen

Leedo bietet Oberflächentechniklösungen für Anwendungen in der Halbleiterindustrie, die Reinheit, Korrosionsbeständigkeit und langfristige Prozessstabilität erfordern.

Oberflächentechniklösungen für Halbleiteranlagen
Anodisieren
Verbessert die Korrosionsbeständigkeit und den Oberflächenschutz.
Harteloxieren
Verbessert die Verschleißfestigkeit, die elektrische Isolation und die Lebensdauer.
Anodisieren mit geringer Ausgasung
Konzipiert für Vakuum- und Ultrahochvakuum-Umgebungen (UHV).
Chemische Vernickelung
Bietet überlegene chemische Beständigkeit und Dimensionsstabilität.
Mikro-Lichtbogenoxidation (MAO)
Bietet keramikähnliche Härte und außergewöhnliche Verschleißfestigkeit.
Ultrareine Wasserreinigung & Reinraumverpackung
Erfüllt die Reinheitsanforderungen für Halbleiter.

Qualitätsmanagement und Prozesskontrolle in der Halbleiterindustrie

Leedo befolgt international anerkannte Qualitätsmanagementstandards, um die Herstellung von Halbleiteranlagen mit hoher Präzision und Prozesskonstanz zu unterstützen.

Qualitätsmanagement
• ISO 9001-zertifizierter Hersteller
• Rückverfolgbarkeit in der Fertigung
• Prozessstabilitätskontrolle
• Management kritischer Dimensionen
• Lieferantenqualitätssicherung
Qualitätsprüfung
• Dimensionsprüfung
• Oberflächenrauheitsprüfung
• Prüfung der Beschichtungsdicke
• Überprüfung der Oberflächenreinheit
• Montageprüfung
Sicherstellung der Einhaltung der Anforderungen der Halbleiterindustrie hinsichtlich Reinheit, Präzision und Zuverlässigkeit.

Wichtigste Anwendungsbereiche

Leedo bietet Präzisionslösungen für die Aluminiumfertigung und Oberflächentechnik für Halbleiteranlagen, Vakuumsysteme und fortschrittliche Prozessanlagen, die hohe Reinheit, Stabilität und Zuverlässigkeit erfordern.

Wichtigste Anwendungsbereiche
Komponenten der Vakuumkammer und des Prozessmoduls
Vakuumkammerbauteile, Kammerauskleidungen, Gasverteilerplatten, Abschirmungskomponenten und Prozessmodulbaugruppen.
Wafer-Handling- und Automatisierungssysteme
Komponenten für die Waferhandhabung, Teile für Roboterarme, Positionierplattformen und Komponenten für Automatisierungsanlagen.
Wärmemanagementsysteme
Heizplatten, Kühlplatten, Temperaturregelmodule und hochpräzise Bauteile mit hoher Planheit.
Komponenten von Inspektions- und Verpackungsanlagen
Bauteile für optische Inspektionsgeräte, Vorrichtungen für die Halbleiterverpackung, Präzisionsstützstrukturen und Gerätebaugruppen.